氣體供給裝置

6.6.1  瓶裝氣體供給裝置應安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應加套管，并應在管道與套管間隙填滿不燃材料并加密封。

6.6.2  裝置岀口管道上的安全閥在安裝前應進行閥門開啟檢查。開啟壓力、密封壓力和回座壓力應符合安全閥性能要求。

6.6.3  集中式真空吸引裝置應安裝在遠離潔凈室的建筑物外，安裝時應采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應小于5倍管外徑，過濾清除設施應安在排氣口。